[00050568]一種仿壁虎腳微納分級結構及其制造工藝
技術詳細介紹
摘要：本發明公開了一種用于仿壁虎腳微納分級結構的制造工藝，包括：S1、使用LPCVD設備在潔凈的硅片上熱生長一層SiO2薄膜；S2、在有SiO2層的硅片表面旋涂光刻膠并進行光刻，制備出圓孔陣列圖形；S3、使用緩沖氫氟酸溶液對暴露出的SiO2進行刻蝕，將光刻膠上的圖形轉移到SiO2層；S4、在樣品表面鍍一層Cu膜；S5、在丙酮或乙醇中進行超聲，通過溶脫剝離工藝去除表面的光刻膠及光刻膠表面的Cu；S6、利用CVD-VLS生長工藝，以上述工藝制備的Cu為催化劑，以SiCl4為硅源，以H2為載氣，生長Si微米線陣列；S7、在硅線表面鍍一層Cu膜；S8、利用CVD-VLS生長工藝，以S7制備的Cu膜為催化劑，以SiCl4為硅源，以H2為載氣，在Si微米線表面生長Si納米線。本發明提供的微納分級結構中Si微米線的表面分布有Si納米線，即一種仿壁虎腳微納分級結構，為干性黏附材料的設計與制造提供了一種解決方案。
