摘要:本發明公開了一種控制流量的水蒸氣發生方法及裝置,通過氫氣與金屬氧化物顆粒在高溫條件下反應生成水蒸氣,其中金屬氧化物顆粒中的金屬陽離子的氧化性強于氫離子。由于高溫條件下氫氣與金屬氧化物顆粒的反應速率很快,且反應屬于不可逆反應,氫氣可被完全氧化,能連續產生濃度接近100%的高純水蒸氣;且水蒸氣的流量完全受氫氣的流量控制。由于氫氣的流量控制精度很高,因此比起傳統液態水發生水蒸氣的發生方法,本發明對水蒸氣流量的控制精度大大提高;另外,反應的氫氣與生成的水蒸氣的摩爾比為1:1,反應過程中沒有氣體體積流量變化,可確保水蒸氣的壓力穩定。因此本發明具有水蒸氣輸出壓力和流量穩定、流量控制精度高的優點。