[00050553]一種膜片鉗芯片微孔加工裝置
技術詳細介紹
摘要：本實用新型公開了一種膜片鉗芯片微孔加工裝置，它包括紫外激光器、擴束鏡、調節光圈、聚焦鏡和玻璃膜片鉗芯片夾具，紫外激光器的輸出光路上設置擴束鏡，擴束鏡的輸出光路上設置調節光圈，調節光圈的輸出光路上設置聚焦鏡，聚焦鏡的輸出光路上設置玻璃膜片鉗芯片夾具。本實用新型裝置使得聚焦后的紫外激光的高能量在極端的時間內能破壞鉗芯片夾具上玻璃材料的分子結構，并在玻璃材料上形成均勻的孔洞；并且，本實用新型還通過計算機數控系統控制紫外激光器和運動控制平臺，實現了整個加工流的自動化。
