[00050424]基于MEMS的叉指間隙梁結構能量收集器及其制作方法
聯系人： 黑龍江大學
所在地： 黑龍江哈爾濱市
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技術詳細介紹
摘要：基于MEMS的叉指間隙梁結構能量收集器及其制作方法。目前，MEMS技術能量回收研究過程中，面臨的微米尺度空隙懸臂梁上PZT薄膜制備難題，對實現能量收集器批量化生產存在制約。本發明方法包括：頂層PZT復合膜梁和兩個底層支撐硅梁，所述的頂層PZT復合膜梁和底層支撐硅梁的兩端分別連接質量塊和固定塊；其中，所述的頂層PZT復合膜梁包括PZT梁層，以及與所述的PZT梁層的上下層分別連接的上金屬電極和下金屬電極。本發明用于微電子機械器件。
