[00050184]自動式微尺度氣液相分離器
技術詳細介紹
摘要：本發明屬于微流體控制領域，具體涉及一種自動式微尺度氣液相分離器。在半導體硅基片上蝕刻出兩條微通道，分別作為氣液相進口流道和氣相出口流道，兩條流道之間由肋條隔開；在微通道的下游、肋條的一側沿寬度方向蝕刻一排肋柱，肋柱的另一側為液相出口流道；在氣液相進口流道、氣相出口流道和液相出口流道上方安裝蓋板進行封裝。本發明克服了傳統微尺度相分離器需要對流道材料進行表面處理或增加額外動力來實現相分離的局限，利用流體的慣性力和氣液界面的表面張力作用，自動實現氣液兩相分離效果。該裝置結構簡單，分離效率高。
