[00049502]一種PVD機臺搭接式防護罩
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所在地： 天津天津市
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技術詳細介紹
本實用新型公開了一種PVD機臺搭接式防護罩，包括內托盤、第二主鍍膜托盤、第三主鍍膜托盤和第四主鍍膜托盤，所述內托盤的頂部安裝有四個外托盤，且內托盤頂部靠近外托盤的一側安裝有四個卡板，四個所述卡板的頂部均通過螺栓固定連接有第一主鍍膜托盤，所述第一主鍍膜托盤的一側安裝有第二鍍膜托盤和第三鍍膜托盤，所述第三鍍膜托盤位于第二鍍膜托盤的一側，所述第二主鍍膜托盤的一側安裝有第七鍍膜托盤和第八鍍膜托盤，所述第八鍍膜托盤位于第七鍍膜托盤的一側，所述第三主鍍膜托盤的一側安裝有第五鍍膜托盤和第十鍍膜托盤，本實用新型設置了內托盤、外托盤和卡板，解決了裝置容易發生變形，縮短使用壽命的問題。
