[00048084]一種大尺寸硅圓片清洗裝置
聯系人：
所在地： 天津天津市
- 服務承諾
- 產權明晰
-
資料保密
對所交付的所有資料進行保密
- 如實描述
技術詳細介紹
本實用新型提供一種大尺寸硅圓片清洗裝置，位于硅圓片上下兩側的刷洗單元，包括對位設置的上毛刷組和下毛刷組，刷洗單元用于刷洗硅圓片表面殘留砂漿，上毛刷組和下毛刷組同向旋轉并帶動所述硅圓片轉動；位于硅圓片兩側的噴淋單元，置于第一毛刷外側且位于硅圓片內緣，用于向硅圓片提供噴淋液；位于硅圓片出口方向一側與硅圓片并行設置的吹氣單元，其氣流方向與硅圓片水平移動方向相反且傾斜設置，用于吹干硅圓片；置于硅圓片下方的傳送單元和置于硅圓片外緣的定位單元。本實用新型清洗裝置適用于大尺寸硅圓片，結構合理，操作簡單，清洗效果好，縮短清洗時間，環保且安全。
