[00046634]橢球面反射鏡遠焦點高精度定位裝置與方法
聯系人： 哈爾濱工業大學
所在地： 黑龍江哈爾濱市
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技術詳細介紹
摘要：本發明橢球面反射鏡遠焦點高精度定位裝置與方法屬于光學共焦顯微技術領域和光學精密測量領域；該裝置包括由激光器等光學元件組成的搭接光路，還包括橢球面反射鏡等；該方法首先使圖像傳感器有效成像，然后調整六自由度工作臺，獲取一系列光斑的強度信息和圓度信息，再將上述信息合并成一個評價函數，建立自由度?評價函數表，并在表中找到評價函數的極值，以及該極值所對應的自由度，最后根據極值所對應的自由度，調整六自由度工作臺，使聚焦物鏡的焦點和橢球面反射鏡的遠焦點重合；本發明充分利用橢球面反射鏡雙焦點共軛的特殊性質，通過提供一種利用成像光斑信息來定位橢球面反射鏡遠焦點的技術手段，實現對橢球面反射鏡進行精確定位。
