[00046628]超精密回轉軸與激光直寫機直寫光軸空間對準方法
聯系人： 哈爾濱工業大學
所在地： 黑龍江哈爾濱市
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技術詳細介紹
摘要：本發明公開了一種超精密回轉軸與激光直寫機直寫光軸空間對準方法，該方法利用極坐標直寫機系統的差動像散離焦檢測裝置、調焦伺服系統、精密定位機構以及位相光柵，實現回轉軸與直寫光軸的對準，所述方法包括以下步驟：把測量范圍劃分成精確測量區和定位測量區，并使定位測量區的分辨率極限值小于精確測量區的范圍；借助差動像散離焦檢測裝置的檢焦功能，使光斑處于準焦狀態；產生光斑離焦產生軸對準偏離量測量信號；根據對準偏離量測量信號，使直寫光軸進入所述定位測量區；測量對準偏離量，借助直寫機系統精密定位機構的精密定位功能使光軸移動到所述精確測量區；再次測量對準偏離量，并借助直寫機系統精密定位機構的精密定位功能實現最終對準。
