[00046615]毛細管放電Z箍縮極紫外光光刻光源的收集系統
聯系人： 哈爾濱工業大學
所在地： 黑龍江哈爾濱市
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技術詳細介紹
摘要：毛細管放電Z箍縮極紫外光光刻光源的收集系統，涉及毛細管放電Z箍縮13.5nm極紫外光光刻光源，為了解決多層橢球面反射鏡構成的收集系統的遠場均勻性不好、反射率低的問題。采用WolterI型收集系統實現，包括N層圓桶狀反射鏡，反射鏡依次共軸嵌套，每層反射鏡由回轉橢球面和回轉雙曲面連接而成，回轉橢球面和回轉雙曲面具有一個公共的幾何焦點，各層反射鏡的幾何焦點重合；反射鏡的回轉橢球面的內表面上由中心軸所在平面截取的曲線滿足方程回轉雙曲面的內表面上由中心軸所在平面截取的曲線滿足方程本發明的遠場均勻性和反射率都得到改善，適用于收集極紫外光。
