[00046443]磷化鍺鋅光參量振蕩元件的制作方法
聯系人： 哈爾濱工業大學
所在地： 黑龍江哈爾濱市
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技術詳細介紹
摘要：磷化鍺鋅光參量振蕩元件的制作方法，它涉及光參量振蕩元件的制作方法。本發明是要解決現有的晶體對于3～5μm中紅外波段激光輸出功率低的問題。方法：測定晶體的晶面、晶向，然后按抽運波矢與晶體光軸的夾角θ及ψ角將晶體切割成晶體坯料，然后粗拋、精拋，再用真空鍍膜法在通光面上先鍍連接層，再以ZnSe、ZnS、ZnTe、LaF3、YF3或HfF4為膜層材料，鍍在1.9μm～2.2μm波長內的反射率R＜1％，在3.5μm～4.8μm波長內的反射率R＜0.3％的增透膜，得到磷化鍺鋅光參量振蕩元件。該元件的損傷閾值大于2.0J/cm2，實現功率十瓦以上的3～5μm中紅外激光輸出，用于中、遠紅外激光器中。
