[00046285]硅鍺合金薄膜材料的制備方法
聯系人： 哈爾濱工業大學
所在地： 黑龍江哈爾濱市
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技術詳細介紹
摘要：硅鍺合金薄膜材料的制備方法，它屬于硅鍺合金薄膜領域。本發明解決了現有工藝制備硅鍺合金薄膜存在設備造價高、操作條件苛刻及使用氫氣使安全系數降低的問題。本發明方法如下：一、基片依次用丙酮、甲醇和超純水超聲清洗，然后自然晾干；二、配制電解液；三、采用三電極法進行電沉積，即在基片表面獲得硅鍺合金薄膜材料。本發明采用三電極法進行電沉積，所需設備造價低，方法簡單，容易操作，反應無需使用氫氣，提高生產的安全系數。
