[00044463]一種通過靜電驅動進行調節的太赫茲帶通濾波器
技術詳細介紹
本發明為一種通過靜電驅動進行調節的太赫茲帶通濾波器，硅基底有通孔，其上為二維陣列，太赫茲波從二維陣列上方進入，穿過二維陣列得到濾波，從通孔射出。矩形可動框架套在二維陣列外，框架左右連接靜電梳齒驅動器的活動梳齒，陣列中同一行的U形結構或胖T形結構連接框架內側，框架前后端連接折疊彈簧。直流電壓驅動靜電梳齒驅動器工作，帶動可動框架移動，U形結構和胖T形結構發生相對運動，以改變它們的間距，調節控制本帶通濾波器的透過率和中心頻率，從而顯著提高了太赫茲帶通濾波器的性能，并拓展其應用范圍。
