[00044462]一種通過靜電驅動 進行調節的太赫茲帶阻濾波器
技術詳細介紹
本發明為一種通過靜電驅動進行調節的太赫茲帶阻濾波器，硅基底的通孔上為二維陣列，上方進入的太赫茲波穿過二維陣列得到濾波，從通孔射出。陣列單元包括倒梯形環結構和一字形結構，倒梯形環長底邊在上、短底邊在下，中空部位也為梯形，一字形與梯形環短底邊相對且平行；可動框架套在二維陣列外，框架左右連接靜電梳齒驅動器的活動梳齒，陣列中同一行的倒梯形環結構或一字形結構連接框架內側，框架前后側連接梳齒驅動器的活動梳齒。直流電壓驅動靜電梳齒驅動器和梳齒驅動器工作，帶動可動框架移動，倒梯形環結構和一字形結構相對運動，改變間距，調節本帶阻濾波器的透射功率和中心頻率，顯著提高了太赫茲帶阻濾波器的性能，并拓展其應用范圍。
