[00044460]一種雙帶動態可調的太赫茲帶通濾波器
技術詳細介紹
本發明為一種雙帶動態可調的太赫茲帶通濾波器，有多個相連的陣列單元的二維陣列位于硅基底的通孔上，每個陣列單元包括兩個開口環諧振器和一個一字形結構，均為頂面金屬層的硅主體，高度相同。開口環諧振器為矩形環，其一邊有開口，兩個環諧振器的開口寬度不同，一字形結構位于兩個開口環諧振器有開口的邊之間，并與之平行?？蓜涌蚣芴自诙S陣列外圍，一字形結構與可動框架相連。兩組靜電梳齒驅動器的活動梳齒與可動框架相連接，帶動可動框架與一字形結構移動。一字形結構和兩個開口環諧振器之間的間距改變，即動態調節本帶通濾波器兩個通帶中心頻率對應的透射功率，實現雙單帶的轉變，提高頻率選擇能力和擴大應用范圍。
