[00037890]球面反射鏡的雙點源干涉檢測方法及裝置
聯系人： 許恩平
所在地： 廣東廣州市
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技術詳細介紹
本發明涉及一種球面反射鏡的雙點源干涉檢測方法及其裝置，所述檢測方法包括獲取平行光，選出雙點源，光束經平面反射返回，光束經球面反射返回，返回光束輸出，球面反射鏡誤差檢測的步驟，所述方法使用的裝置包括光源、光束處理裝置、光柵、凸透鏡、透反平面鏡、空間濾波器、小平面反射鏡、球面反射鏡安裝調節平臺、像屏和攝像機，所述器件安裝于器件夾持調節裝置上。本發明精度高，對振動、溫度、氣流敏感小，穩定性高，易于操作并能推廣應用。
