[00033870]一種三段式螺桿轉子及其雙螺桿真空泵
技術詳細介紹
本發明公開了一種三段式螺桿轉子及其雙螺桿真空泵，屬于干式雙
螺桿真空泵領域；包括吸氣段、壓縮段和排氣段，吸氣段和排氣段都為
等螺距且等截面型線，吸氣段的螺距大于排氣段的螺距，但吸氣段的齒
頂面寬度小于排氣段的齒頂面寬度；壓縮段為變螺距且變截面型線；吸
氣段與壓縮段之間、壓縮段與排氣段之間的齒面和螺旋線光滑過渡；具
有內容積比大、密封性好、結構緊湊、軸向尺寸短和加工難度低的優
點，提高了雙螺桿真空泵的極限真空度和抽速，可以廣泛應用于半導體
、化工、電子、核能、食品、醫藥等領域。
