[00033300]在金屬基材上制備硬磁性氧化物涂層的方法
技術詳細介紹
本發明提供一種在金屬基材上制備硬磁性氧化物涂層的方法，是用等離子噴涂技術在金屬基體材料 上制備MeFei20i9型永磁鐵氧體涂層的方法，克服了用現有技術在微系統基材上制得的磁性厚膜的厚度 與磁性不能完全滿足微電機械系統需要微型化的永磁材料器件要求的缺陷。本發明方法在金屬基材上制 得的硬磁性氧化物涂層厚度易調、制備過程簡單、涂層成分穩定不怕氧化。制備過程中操作氣氛要求低, 對周圍環境友好，無有毒有害物質生成。
市場前景與效益分析：
本發明方法可以在各種不同形狀的基材上直接噴涂幾微米到數毫米厚度的硬磁性涂層，沉積速率 高；等離子噴涂技術與退火工藝結合，涂層致密，與基體結合強度高，所得工件不帶電；基體材料可選 范圍廣、受熱損傷小，可以對基體材料進行大表面積的噴涂，也可以實施有選擇性的局部噴涂。本發明 方法所用原料來源廣，價格便宜，生產成本較低，促進了磁性膜在微型化電子機械系統中的開發及應用。
