[00031991]聲表面波有毒氣體傳感器陣列
技術詳細介紹
項目處于研發熟化階段。申請發明專利70余項，授權40余項（含美國專利2項），初步建立了一套自主知識產權體系。發明了多種用于檢測有毒氣體的聚合物氣敏材料及其低毒合成方法，其中PHFA的靈敏度是美國PNNL的BSP3的3倍；提出了雙端諧振型樂甫波傳感器，發明了聚合物波導薄膜和叉指電極的優化制備工藝方法，與法國ENSEIRB的器件相比，將傳感功能結構的靈敏度提高了12倍；發明了SAW氣體傳感器的溫濕度補償技術、快速解吸方法和電磁屏蔽方法。研制的手持式SAW氣體傳感器能對0.1mg/m3的G系毒氣進行檢測，分析時間小于30s，具有靈敏度高、響應快、體積小等特點，主要技術指標達到國際先進水平。
