[00031607]一種基片清洗籃
技術詳細介紹
本實用新型公開了一種基片清洗籃，包括籃體，所述籃體包括鏤空清洗槽和位于所述籃體的底面且與所述鏤空清洗槽相交的橫梁，所述橫梁向下凸出形成所述籃體的基座。包括一個或一個以上所述籃體，所述籃體的側面設置有連接部件，所有所述籃體的底面位于同一平面，所述籃體與所述籃體之間通過所述連接部件牢固連接。所述鏤空清洗槽呈若干―S‖形或反―S‖形依次首尾連接的形狀、或是呈同心圓或同心口字的形狀、或是呈螺旋線漸開或回字漸開的形狀。所述鏤空清洗槽的側壁相對籃體底面傾斜設置。本基片清洗籃清洗效果突出、能減少對基片污染、有益清洗后基片干燥、可進行批量清洗、可清洗各長度規格的剛性或柔性基片及對某一側面有清潔度要求的基片。
