[00025228]多孔硅場發射發光二極管陣列及其制作技術
技術詳細介紹
本發明涉及場發射顯示技術領域，特別是一種多孔硅場發射發光二極管陣列及其制作技術。本發明的多孔硅場發射發光二極管陣列，包括陽極板、陰極板、熒光粉和多孔硅片，其中，陽極板由導電玻璃和引線一組成，陰極板由玻璃和引線二組成，多孔硅片由硅基底和多孔硅層組成。在陰極板的玻璃上設有m列銀漿導電引線二，每列上固定n片多孔硅片；在陽極板的導電玻璃上把導電層腐蝕成n行引線一，熒光粉涂履在陽極板玻璃正面的引線一上，每行引線上涂履m塊熒光粉漿料，每塊熒光粉漿料的面積尺寸比陰極板上多孔硅片略大；多孔硅場發射發光二極管陣列的陰極板與陽極板之間的間隙通過隔離子和密封材料構成一真空度在1×10-5Pa以下的密封空腔。
