[00025227]多孔硅場發射發光二極管及其制作技術
技術詳細介紹
本發明涉及場發射顯示技術領域，特別是一種多孔硅場發射發光二極管及其制作技術。本發明的多孔硅場發射發光二極管，包括導電玻璃、熒光粉、多孔硅片，其中，多孔硅片為多孔硅場發射發光二極管的陰極，多孔硅片由硅基底和多孔硅層組成；多孔硅場發射發光二極管的陽極由熒光粉涂履在導電玻璃的導電層上而成；多孔硅場發射發光二極管的附有熒光粉的導電玻璃導電層與多孔硅片的多孔硅層之間的間隙，通過隔離子和密封材料構成一真空度在1×10-5Pa以下的密封空腔。本發明多孔硅場發射發光二極管的制作步驟：1.多孔硅片的制作；2.多孔硅場發射發光二極管的制作，其中：(1)制作陰極，(2)制作陽極，(3)制作隔離子，(4)真空封裝。
