[00016353]微小圓孔尺寸及圓度同時測量的裝置
技術詳細介紹
本實用新型公開一種微小圓孔尺寸及圓度同時測量的裝置，包括He-Ne激光器、被測圓孔及夾持器、帶標志毛玻璃接收屏、信息采集裝置、信息處理裝置，本實用新型裝置測試基于激光夫朗和費衍射測量原理，在衍射場放置有特別標志的毛玻璃做為衍射圖樣接收屏，由面陣CCD采集接收屏上包含特別標志的衍射圖樣，經計算機上專門研制的軟件完成定標和衍射圖樣信息獲取，從而自動實現微小圓孔尺寸及圓度的同時測量，裝置測試量程（微小圓孔直徑）為0。005mm~0。5mm。
