[00015724]鈷釩超高密度垂直磁記錄介質及其制備方法
技術詳細介紹
項目簡介：
鈷釩超高密度垂直磁記錄介質及其制備方法，涉及一種磁記錄介質。提供一種具有高的磁晶各向異性能、良好的垂直磁記錄特性和優異的化學穩定性，能滿足垂直磁記錄介質所需的低噪音和高熱穩定性的要求，可用于高密度垂直磁記錄的鈷釩超高密度垂直磁記錄介質及其制備方法。為ＨＣＰ結構的多晶組織，釩原子百分比１３％～２４％，厚度２００～６００ｎｍ。將清洗好的玻璃基片裝入濺射室，裝鈷靶，在鈷靶上放釩片；對濺射室抽氣至本底真空優于５×１０↑［－４］Ｐａ；加熱濺射室，溫度在２００～３００℃；通入Ａｒ氣，氣壓保持０．６～０．７Ｐａ，預濺射至少１０ｍｉｎ，清潔靶面，最后濺射沉積２０～６０ｍｉｎ。
