[00015708]太陽能級多晶硅的提純裝置及提純方法
技術詳細介紹
項目簡介：
太陽能級多晶硅的提純裝置及提純方法，涉及一種多晶硅。提供一種成本低、純度高、工藝簡單易行、操作方便和適合于規?；a的太陽能級多晶硅的提純裝置及提純方法。設有真空系統、熔煉系統和定向凝固系統；真空系統設有機械旋片泵、蘿茨泵和油擴散泵，熔煉系統設有真空室、二次加料器、觀察窗、可升降的旋轉通氣裝置、感應線圈和石墨坩堝；定向凝固系統設于真空室的下部，定向凝固系統設有電阻絲加熱保溫爐、石墨模具、保溫爐支架、水冷銅盤、可控速的升降桿。通過感應加熱熔化金屬硅，在低真空高溫條件下通入氧化性氣體除硼，然后進行高溫高真空除磷，最后將熔融硅液澆注入定向模具中進行嚴格的定向凝固除金屬雜質。
太陽能級多晶硅的提純裝置及提純方法，涉及一種多晶硅。提供一種成本低、純度高、工藝簡單易行、操作方便和適合于規?；a的太陽能級多晶硅的提純裝置及提純方法。設有真空系統、熔煉系統和定向凝固系統；真空系統設有機械旋片泵、蘿茨泵和油擴散泵，熔煉系統設有真空室、二次加料器、觀察窗、可升降的旋轉通氣裝置、感應線圈和石墨坩堝；定向凝固系統設于真空室的下部，定向凝固系統設有電阻絲加熱保溫爐、石墨模具、保溫爐支架、水冷銅盤、可控速的升降桿。通過感應加熱熔化金屬硅，在低真空高溫條件下通入氧化性氣體除硼，然后進行高溫高真空除磷，最后將熔融硅液澆注入定向模具中進行嚴格的定向凝固除金屬雜質。
