[00015163]復合型微能源系統及其制備方法
技術詳細介紹
項目簡介：
復合型微能源系統及其制備方法，涉及一種微能源系統。提供一種可有效提高能量搜集效率，特別適用于為微系統或微器件提供"永久性"工作能源的復合型微能源系統及其制備方法。設有3片基片、2層金屬層和接觸開關，3片基片成三明治結構，從下至上依次為第1、第2和第3基片，在第2基片下表面加工PN結，接觸開關設于第1與第2基片之間。在具有規則分布的具有三維結構(深孔陣列或柱型陣列)的PN結收集同位素輻射能的基礎上，在系統中集成利用金屬不同功函數將β射線產生的靜電感應振動能量轉換為電能，達到有效提高能量搜集效率的目的。
復合型微能源系統及其制備方法，涉及一種微能源系統。提供一種可有效提高能量搜集效率，特別適用于為微系統或微器件提供"永久性"工作能源的復合型微能源系統及其制備方法。設有3片基片、2層金屬層和接觸開關，3片基片成三明治結構，從下至上依次為第1、第2和第3基片，在第2基片下表面加工PN結，接觸開關設于第1與第2基片之間。在具有規則分布的具有三維結構(深孔陣列或柱型陣列)的PN結收集同位素輻射能的基礎上，在系統中集成利用金屬不同功函數將β射線產生的靜電感應振動能量轉換為電能，達到有效提高能量搜集效率的目的。
