[00014561]利用射頻或直流磁控濺射制備摻鋁氧化鋅透明導電薄膜
技術詳細介紹
由于氧化銦材料的不斷上漲，而氧化鋅在自然界中很豐富，并且氧化鋅穩定且不含毒素，因此制備摻鋁氧化鋅薄膜來替代ITO薄膜具有很好的實用和經濟價值。摻鋁氧化鋅薄膜具有性能穩定、價格低的特點，已經廣泛應用在太陽能電池的電極中。本課題組已利用磁控濺射技術制備了方塊電阻小于50歐，可見光區平均透過率（含基板）大于84％的摻鋁氧化鋅薄膜。
由于氧化銦材料的不斷上漲，而氧化鋅在自然界中很豐富，并且氧化鋅穩定且不含毒素，因此制備摻鋁氧化鋅薄膜來替代ITO薄膜具有很好的實用和經濟價值。摻鋁氧化鋅薄膜具有性能穩定、價格低的特點，已經廣泛應用在太陽能電池的電極中。本課題組已利用磁控濺射技術制備了方塊電阻小于50歐，可見光區平均透過率（含基板）大于84％的摻鋁氧化鋅薄膜。
