[00132737]超高真空磁懸浮復合分子泵

超高真空系統是我國國防領域核心器件、尖端科學儀器、高技術產業工藝裝備研制必不可少的關鍵儀器設備,是制約其整體性能提升的關鍵技術瓶頸。國外將航天領域的磁懸浮技術成果應用于民用領域,研制的磁懸浮分子泵已逐步取代機械軸承分子泵。國內在超高真空磁懸浮復合分子泵產品面尚屬空白,高端真空設備全部依賴進口,價格昂貴,大抽速磁懸浮復合分子泵受到國外技術封鎖與禁運,嚴重制約我國超高真空科學儀器和設備領域的發展。 本項目從我國高端科學儀器和工藝裝備對超高真空度的迫切需求出發,針對同時滿足超高真空度和大抽速的技術難點,以研制國際先進水平的磁懸浮分子泵系列化產品為目標,采取強強聯合方式,基于北京航空航天大學在磁懸浮軸承軍工高新技術核心成果,利用北京海斯德電機在高速直流無刷電機、北京北儀創新真空在機械分子泵的技術積累,突破技術瓶頸,自主創新,北航負責磁懸浮復合分子泵總體設計與復合轉子、高速電機及控制系統關鍵技術和整機集成測試,北儀創新真空負責大抽速渦輪動、定片設計及復合轉子精密加工與集成,北京海斯德電機負責高集成磁懸浮高速電機的設計及精密加工與集成,攻克總體結構設計、復合轉子、高性能磁軸承等超高真空度磁懸浮復合分子泵的多項關鍵技術,研制成功超高真空磁懸浮復合分子泵,性能指標達到國際同類產品先進水平,實現超高真空磁懸浮復合分子泵在高分辨率質譜儀、長壽命電真空器件、高性能激光器等領域的示范應用,實現了軍工高新技術向民用領域成功轉化應用。