[00131776]分子/增壓泵稀土永磁材料真空熔煉爐(節能、高效真空熔煉爐)

分子/增壓泵是深圳大學在首屆《中國國際高新技術成果交易會》上重點推介的科技成果，最近，由深圳市摩爾真空技術有限公司批量投產。分子/增壓泵不僅具有分子泵的高真空性能，而且還具有優異的中真空性能，50-10-2Pa壓強范圍的抽速大幅度超過羅茨泵，能耗僅為羅茨泵的5%，還能獲得清潔真空。因此，該泵特別適用于各種等離子體應用（磁控濺射、離子鍍、PCVD等）、真空熔煉爐和真空熱處理爐等領域。分子/增壓泵將大幅度簡化真空設備結構、縮短抽氣時間、大幅度節約能耗、顯著提高產品質量。0.1Pa：抽速與高壓強分子泵大體相同，羅茨泵的26倍；1Pa：抽速為高壓強分子泵的2倍，羅茨泵的10倍；5Pa：抽速為高壓強分子泵的3.5倍，羅茨泵的6倍；＞5Pa：ALCATEL高壓強分子泵不能連續運行；10Pa：抽速為羅茨泵的4倍；50Pa：抽速為羅茨泵的1.2倍；100Pa：抽速為羅茨泵的0.7倍。分子/增壓泵在50-10-1Pa中真空范圍的抽速為同尺寸羅茨泵抽速的1.2-26倍。分子/增壓泵稀土永磁材料真空熔煉爐MB-200A分子/增壓泵(抽速800l/s)取代ZG-0.025釹鐵硼熔煉爐的油噴射泵，獲得了抽氣時間縮短：55%能耗降低：95.5%，每臺熔煉爐年節電6萬度。生產效率提高：30％熔煉合金質量：顯著提高。市場：真空熔煉爐是制備高性能材料的重要設備?，F有我國的真空熔煉爐均無自主知識產權，性能也落后國外先進水平十余年。分子/增壓泵真空熔煉爐將大幅度提高我國真空熔煉爐的性能，加速我國稀土永磁材料產業的發展。該項成果已申請國家專利。目前，我國現有稀土永磁材料熔煉爐（折合成70kg熔煉爐）約100余臺，年增長約30%。近期市場需求約50臺，直接產值2,000萬元/年。計入其它產業熔煉爐的需求和舊設備改造，預期社會需求總量可達3,000萬元/年以上。項目進展：已完成科研階段研究和部分中試工作，尚未實現產品化。但可進行70kg以下熔煉爐的工業試驗。附件：大型真空設備的快速抽氣裝置1．簡介沖洗抽氣是利用注入非活性氣體，快速降低真空容器活性氣體分壓強的抽氣方法。目前，在小型真空設備和排氣臺，例如日光燈和節能燈排氣等領域中獲得了廣泛應用。然而，在大型真空設備抽氣中，至今未有成功的先例。本裝置包括真空室、真空閥、前級真空泵、真空計，還包括一種具有如下性能的沖洗真空泵機組（下文簡稱沖洗機組）：1）在1～幾百Pa壓強范圍內能連續工作，抽速達幾十～幾百升/秒；2）高真空范圍抽速能達到幾百～幾千升/秒，極限真空優于10-4Pa；3）對真空室不產生附加污染，或者附加污染可以忽略。設備還包括沖洗氣體源（例如Ar、N2，或其它非活性氣體）、充氣閥和沖洗氣體的注入口，沖洗氣體的注入口要設置在真空室抽氣流的上游，遠離抽氣口的部位。2．沖洗抽氣的操作1）真空室先由預抽泵（通常采用旋片泵，或滑閥泵）抽至幾百Pa，然后用沖洗機組抽至沖洗下限壓強P1。P1應取較低的值，但要維持真空室粘滯流狀態，對于直徑700mm的真空室，P1可取1Pa。2）關閉真空室與沖洗機組之間的真空閥（也可以不關閉），真空室注入沖洗氣體至上限壓強P2，P2應取較高值，以不超過沖洗機組的最高連續工作壓強為準，通常可取幾十～幾千Pa。3）開啟高真空閥，由沖洗機組重新抽至下限壓強P1；4）重復上述過程n次，沖洗抽氣結束.若漏氣和放氣可以忽略，真空室中殘留活性氣體分壓強可以降低到Pu=0.2×P1×(P1/P2)n。令P1=10Pa，P2=200Pa，則3次沖洗后，活性氣體分壓強Pu=2.8×10-4Pa?？紤]到真空室的漏氣和放氣，實際操作中，應適當減小P1/P2的數值，或增加沖洗次數n。3．沖洗機組的要求原則上能滿足前述3項要求的真空機組均可用于沖洗。然而，傳統真空設備中，還找不到能同時滿足這些要求的真空泵（其中羅茨泵能滿足條件和2，但該泵有油蒸汽污染，僅能用于少數要求不高的場合），這也是沖洗抽氣方法未能用于大型真空設備的根本原因。最近，摩爾公司生產的MB-200A分子/增壓泵的性能優異，全面滿足了上述要求。4．主要應用領域沖洗抽氣法主要用于要求活性氣體分壓強低，但對真空度要求不高的各種真空應用場合，例如：各種等離子體應用（磁控濺射、離子鍍、PCVD等），真空熔煉爐和熱處理爐等。5．主要優點1）由于沖洗泵兼有中、高真空兩種泵的性能，在大型真空設備中可同時取代高真空泵和中真空泵，簡化真空鍍膜設備的結構；2）沖洗泵的高真空抽速可以降至傳統真空設備高真空泵的1/2；3）若不減小高真空抽速，則可縮短抽氣時間50％，生產效率大幅度提高；4）抽氣能耗大幅度降低，與擴散泵系統相比，能耗降低80%以上，與分子泵系統相比.能耗降低50%。