[00130313]一種基于可變彈性模量的復合薄膜壓電微泵
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技術詳細介紹
本發明提出了一種基于可變彈性模量的復合薄膜壓電微泵,旨在提高微泵泵送量,同時降低驅動電壓,簡化微泵結構,提高微泵在工作時的可靠性,包括上蓋板、進口閥、上框架、泵膜、下框架、下蓋板和出口閥。上蓋板固定在上框架上表面,其上設置有進口閥口,進口閥安裝在該閥口的下端,下蓋板固定在下框架下表面,其上設置有出口閥口,出口閥安裝在該閥口的下端;所述泵膜由第一導電層、第一介質層、第二導電層、驅動電極、第三導電層和第二介質層復合而成,固定在上框架和下框架之間,形成容積可變的泵腔。本發明微泵在低驅動電壓下可實現泵腔容積的大變形,響應時間快,同時具有綠色環保的特性,可用于流體微量傳送系統中。
