[00013064]白光垂直掃描表面形貌測量儀
技術詳細介紹
儀器主要結構包括：顯微干涉鏡、成像光路及鏡筒、光源、CCD、垂直掃描工作臺、PZT驅動電源、顯示器、工控機等，實驗系統如圖所示。
儀器技術指標：垂直測量范圍40微米；垂直測量分辨率0.010微米；測量面積0.36×0.27毫米2；顯微鏡數值孔徑：0.40；系統橫向分辨率：0.5微米；顯微鏡放大倍數：20×；顯微鏡工作距離：4.7mm；CCD像素：1280×1024。
應用領域：表面形貌的二、三維測量、MEMS結構測試、刻線和溝槽尺寸測量、臺階測量等。
