[00011661]局域表面等離子體共振增強近場光學探針
交易價格:
面議
所屬行業:
微電子
類型:
發明專利
技術成熟度:
正在研發
專利所屬地:中國
專利號:200810247552.7
交易方式:
完全轉讓
聯系人:
沈炎
進入空間
所在地:
安徽蕪湖市
- 服務承諾
- 產權明晰
-
資料保密
對所交付的所有資料進行保密
- 如實描述
技術詳細介紹
局域表面等離子體共振增強近場光學探針,由探針纖芯(1)、金屬薄膜包層(2)、局域表面等離子體共振增強結構(3)組成,其特征在于:局域表面等離子體共振增強結構(3)由金屬薄膜(4)、金屬薄膜(5)和空隙(6)構成。本發明利用金屬薄膜表面等離子體局域實現高分辨率近場光學探測,具有分辨率高、抗干擾能力強、設計靈活等特點。該探針錐角范圍大,針尖直徑大,可以實現"又粗又亮",加工制作方便,適合量產。