[00011189]高阻抗四探針測試儀
技術詳細介紹
半導體材料和器件研究方面，都需要對半導體的表面方塊電阻進行測量。目前主要采用四探針測試儀測量半導體材料的方塊電阻，但是，我們了解到，目前國內科研院所使用的四探針測試儀都是老式的用于硅單晶測量的，對于新興的寬禁帶半導體材料的電阻率測量無能為力，而由于國外的相關儀器產品價格昂貴，使得許多從事寬禁帶半導體材料和器件研究的課題組沒辦法測出他們的需要的參數。
經過兩年夜以繼日的努力，我們設計研發了高阻抗四探針測試儀，不但價格低廉，而且性能又能滿足國內目前的科研需求，填補了我國的空白，具有很好的市場前景。
項目產品達到的主要技術與性能指標：
我們設計的高阻抗四探針探測儀，電阻率測量范圍10-4～109Ω?cm，方塊電阻測量范圍10-3～1010Ω/□，內置恒流源電流量程范圍1nA～100mA，內置電壓測量單元量程范圍10mV～10V，輸入阻抗大于1013Ω，測量精度4位半。
