[00011187]智能濺射離子泵電源控制器
技術詳細介紹
濺射離子泵（Sputter-ionpump）由于其清潔無油、對多種氣體的抽氣能力、以及不怕震動和易于維護，是目前超高真空獲得系統中使用最廣泛的一種真空泵，廣泛應用于分析儀器、材料研究、加速器、光束線、儲存環、空間環境模擬、鍍膜技術以及其它要求無污染的環境。濺射離子泵的工作原理是利用電磁場的作用產生潘寧放電，使氣體分子電離，利用電離產生的離子轟擊并濺射陰極板（鈦板），使電離了的氣體分子收附于其中或利用濺射的吸氣劑膜層（鈦膜）來抽氣。
幾十年的濺射離子泵的發展過程中，近十年來國外變化最大的是離子泵電源控制器，主要表現在采用高頻開關電源代替50Hz功頻電源，以及電源的智能化和數字化。
本產品按目前國際行業標準提供了一種基于開關電源方式的智能濺射離子泵電源控制器（國家專利：00112595.8、00240529.6），全面使用開關電源替代過去的功頻電源，重量輕、體積小、輸入電壓范圍寬、高效節能。
主要特點：體積小、重量輕、智能化，使用界面友好；RS232微機通訊接口，便于聯網控制；輸入電壓范圍寬，開關電源，高效節能；電磁兼容性及安全防護符合國際標準。
