[00108575]一種高速電力開關器件
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技術詳細介紹
本實用新型公開了一種高速電力開關器件，包括控制信號輸入端，第一開關連接端、第二開關連接端和高電子遷移率晶體管，高電子遷移率晶體管包括襯底；位于襯底上的半導體層，其中，半導體層包括異質結構，異質界面形成二維電子氣，柵區的半導體層上形成有凹槽，且凹槽下方半導體層的厚度大于滿足增強型晶體管條件的厚度；位于半導體層上兩端的源極和漏極，源極與第一開關連接端電連接，漏極與第二開關連接端電連接；位于凹槽中的第一介質層；位于第一介質層上的浮柵；包覆浮柵和第一介質層的第二介質層；位于第二介質層上的控制柵，控制柵與控制信號輸入端電連接。本實用新型采用高電子遷移率晶體管，得到了高性能、低損耗的電力開關器件。
