[00010390]隧道結非接觸式位移測量方法及位移傳感器
技術詳細介紹
隧道結非接觸式位移測量方法及位移傳感器
本發明公開了一種隧道結非接觸式位移測量方法及位移傳感器，在基片上安裝有隧道結陣列，所述的隧道結陣列外接有可以探測出每個隧道結電阻大小變化的外圍電路，每個隧道結對應一個確定的位置信息；隧道結陣列上方設置一個可移動的激光光源，當激光光源發出的激光束照射到某一個隧道結上時，該隧道結的外圍電路感知其電阻變化，從而得到該隧道結的位置信息，從而得出與激光光源位置相對應的待測對象的位移或長度?？梢砸暂^低的成本實現極高精度和穩定性的位移探測，由于其原理采用數字式，所以整個傳感器系統具有極高的抗干擾性，并且由于沒有采用通常磁珊型位移傳感器所采用的磁珊尺，即使在強磁場下也不會損壞，并且在一定大小的磁場下也可以工作，拓寬了其應用領域。
