[00010347]高精度編碼器和角度傳感器的制備方法
技術詳細介紹
高精度編碼器和角度傳感器的制備方法
本發明公開了一種高精度編碼器和角度傳感器的制備方法，在基片上鍍上磁性介質薄膜材料，再對其進行半導體微加工處理形成由于測量的周期性或非周期性的磁性圖案，再利用磁性傳感器對磁性條紋和圖案進行探測，然后配上外圍電路后得到，可用來進行高精度的角度和位置測量。采用本發明方法制備的高精度編碼器和角度傳感器的分辨率和靈敏度高，成本低且制備工藝簡單，抗干擾性強，且可以制作體積更小的磁性編碼器和角度傳感器等。
