[00010339]多晶硅還原爐多參量在線監測與優化控制裝置及方法
技術詳細介紹
多晶硅還原爐多參量在線監測與優化控制裝置及方法
本發明公開了一種多晶硅還原爐多參量在線監測與優化控制裝置及方法，包括有多參量紅外監測探頭、紅外圖像處理與視覺測量模塊、工藝優化控制模塊，通過多參量紅外監測探頭獲取爐內硅棒紅外圖像，經數據采集模塊采集、轉換為數字圖像后再由圖像處理模塊進行分析、處理，通過視覺測量技術得到硅棒直徑和生長率，采用比色測溫方法測量硅棒表面的溫度分布，所得數據經用戶接口接入顯示器通過分析獲取的測量數據，建立優化控制模型，結合不同多晶硅還原爐型進行閉環優化控制。
