[00010262]基于自混合的高靈敏度膜片式光聲光譜傳感器
技術詳細介紹
基于自混合的高靈敏度膜片式光聲光譜傳感器
本實用新型涉及一種基于自混合的高靈敏度膜片式光聲光譜傳感器，包括傳感光源、激發光源、第一耦合器、光聲腔體及信號處理電路單元，傳感光源、激發光源出射激光經第一耦合器由光纖導入光聲腔體內；光聲腔體包括陶瓷套管及高靈敏度膜片；激發光源出射激光激發氣體分子產生光聲信號，并引起高靈敏度膜片振動；傳感光源作為檢測光信號入射到高靈敏度膜片表面，被反射回光纖端面，經光纖輸出至傳感光源的腔內產生自混合光聲光譜信號；自混合光聲光譜信號經信號處理電路單元處理，獲得高靈敏度膜片振動頻率和幅度，進而獲得氣體的濃度、壓力信息。本實用新型采用自混合干涉傳感技術，光路結構更加簡單可靠，可實現遠距離，分布式氣體檢測。
